HiPace 800 M渦輪分子真空泵

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摘要

德國(guó)普發(fā)真空 HiPace 800 M 磁懸浮渦輪分子泵，5 軸磁懸浮技術(shù)實(shí)現(xiàn)無油潔凈運(yùn)行，氮?dú)獬樗龠_(dá) 790 l/s，極限壓力低至 < 5×10?1? hPa。零維護(hù)設(shè)計(jì)，低振動(dòng)靜音，獲 Semi S2 與 IP54 認(rèn)證。支持任意角度安裝，庫(kù)，適配半導(dǎo)體、鍍膜及精密研發(fā)，10 萬小時(shí)超長(zhǎng)壽命保障穩(wěn)定。

產(chǎn)品介紹

HiPace 800 M渦輪分子真空泵

渦輪分子真空泵

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渦輪分子真空泵

抽速

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HiPace 800 M 渦輪分子真空泵：精密制造的超高真空解決方案

德國(guó)普發(fā)真空 HiPace 800 M 磁懸浮渦輪分子泵，以創(chuàng)新科技重新定義工業(yè)真空標(biāo)準(zhǔn)。搭載專利 5 軸主動(dòng)磁懸浮系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)子無接觸懸浮運(yùn)行，配合實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與自動(dòng)平衡補(bǔ)償技術(shù)，消除機(jī)械磨損，將維護(hù)需求降至零，確保 10 萬小時(shí)超長(zhǎng)穩(wěn)定運(yùn)行。

其核心性能堪稱行業(yè)標(biāo)桿：氮?dú)獬樗俑哌_(dá) 790 l/s，極限壓力低至 < 5×10?¹? hPa，可快速建立超高潔凈真空環(huán)境。IP54 防護(hù)等級(jí)賦予設(shè)備防塵防水能力，即使在多塵或偶爾濺水的工業(yè)環(huán)境中也能可靠運(yùn)行，而 Semi S2 認(rèn)證則確保其完全符合半導(dǎo)體制造的嚴(yán)苛安全標(biāo)準(zhǔn)，覆蓋電氣安全、輻射防護(hù)等 22 項(xiàng)關(guān)鍵指標(biāo)。

設(shè)計(jì)上的突破讓安裝更靈活 —— 支持任意角度部署，緊湊機(jī)身顯著節(jié)省機(jī)臺(tái)空間。集成驅(qū)動(dòng)電子裝置簡(jiǎn)化系統(tǒng)集成，低振動(dòng)（<0.1 mm/s）與低噪音特性，使其成為精密光學(xué)鍍膜、半導(dǎo)體晶圓制造及研發(fā)的理想選擇。

創(chuàng)新密封氣閥設(shè)計(jì)有效阻隔有害物質(zhì)侵入，配合智能運(yùn)行監(jiān)控系統(tǒng)，可實(shí)時(shí)反饋設(shè)備狀態(tài)并預(yù)防潛在故障。普發(fā)真空 50 余個(gè)服務(wù)中心提供快速響應(yīng)支持，更有靈活的保修方案與設(shè)備置換服務(wù)，確保停機(jī)時(shí)間短化。從實(shí)驗(yàn)室到量產(chǎn)線，HiPace 800 M 以無油潔凈、節(jié)能與終身低維護(hù)成本，成為制造領(lǐng)域的核心真空動(dòng)力。

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