HiPace 700 P渦輪分子真空泵
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摘要
HiPace 700 P 渦輪分子真空泵結(jié)構(gòu)緊湊，卻蘊(yùn)含強(qiáng)大能量，氮?dú)獬樗俑哌_(dá) 685 l/s，能夠快速地抽取氣體，大大縮短工作周期。其極限壓力低至 1×10?? mbar ，可營(yíng)造出超高真空環(huán)境，滿足對(duì)真空度要求極為嚴(yán)苛的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)需求。運(yùn)行時(shí)，氫氣抽速達(dá) 555 l/s ，氦氣為 655 l/s ，氬氣則是 665 l/s ，針對(duì)不同氣體均展現(xiàn)出抽氣能力 。
產(chǎn)品介紹
HiPace 700 P渦輪分子真空泵
技術(shù)規(guī)格ISO
抽速
市場(chǎng)和應(yīng)用
車(chē)輛及運(yùn)輸
熱處理
冶金
真空銅焊 / 釬焊
熱處理
半導(dǎo)體應(yīng)用
PVD檢驗(yàn)與計(jì)量
金屬和高 K 蝕刻
LPCVD / 擴(kuò)散光刻技術(shù)
氧化物蝕刻，剝離 / 灰化
ALDPECVDSi Poly etch
Load lock 和 傳輸
輕沉積，離子注入，薄膜鍍層
光學(xué)涂層，裝飾涂層，耐磨損涂層
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