HiPace 700 P渦輪分子真空泵
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HiPace 300 P渦輪分子真空泵
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HiPace 30 Neo渦輪分子真空泵
摘要
普發(fā) HiPace 700 P 渦輪分子真空泵專為高真空環(huán)境設(shè)計，抽速高達(dá) 685 l/s，極限真空度達(dá) 1×10?? mbar（標(biāo)準(zhǔn)配置），適用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜及科研領(lǐng)域。采用耐腐蝕不銹鋼材質(zhì)，集成 TC 400 驅(qū)動單元，支持 RS485 通信與遠(yuǎn)程監(jiān)控，可實時調(diào)整運行參數(shù)并實現(xiàn)節(jié)能優(yōu)化。運行噪音低至 68 dB (A)，維護(hù)周期長達(dá) 17,200 小時，顯著降低停機(jī)成本。通過 SEMI S2 認(rèn)證與 IP54 防護(hù)等級，可耐受工業(yè)粉塵及腐蝕性氣體，適配電子束焊接、質(zhì)譜分析等嚴(yán)苛場景。內(nèi)置智能控制器支持多語言操作，兼容水冷 / 風(fēng)冷雙模式，任意方向安裝靈活應(yīng)對復(fù)雜工況。立即選購，體驗德國精密制造帶來的真空解決方案！
產(chǎn)品介紹
HiPace 700 P渦輪分子真空泵
技術(shù)規(guī)格ISO
抽速
市場和應(yīng)用
車輛及運輸
熱處理
冶金
真空銅焊 / 釬焊,熱處理
半導(dǎo)體應(yīng)用
PVD檢驗與計量,金屬和高 K 蝕刻
LPCVD / 擴(kuò)散,光刻技術(shù),氧化物蝕刻,剝離 / 灰化
ALDPECVDSi Poly etch
Load lock 和 傳輸,輕沉積,離子注入
薄膜鍍層
光學(xué)涂層,裝飾涂層,耐磨損涂層
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