多西托（DosiTorr）高真空傳感器
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摘要
多西托（DosiTorr）高真空傳感器，工業(yè)真空測(cè)量的之選！采用 MEMS 微機(jī)電技術(shù)，測(cè)量范圍覆蓋 1e-9 至 1e-1 mbar，精度達(dá) ±0.1% FS，響應(yīng)時(shí)間 < 1 秒，實(shí)時(shí)捕捉微小壓力波動(dòng)。全不銹鋼外殼 + 陶瓷電容膜片，耐腐蝕性氣體侵蝕，ATEX 防爆認(rèn)證（Cat. 1 IIC T4）適用于爆炸性環(huán)境。數(shù)字輸出（RS485/USB）無縫集成自動(dòng)化系統(tǒng)，支持遠(yuǎn)程監(jiān)控與自診斷，維護(hù)周期延長(zhǎng) 30%。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體刻蝕（如 7 納米制程腔體壓力控制）、真空鍍膜（±0.5% FS 穩(wěn)定性）、制藥凍干（快速恢復(fù)大氣壓）等場(chǎng)景。提供定制化校準(zhǔn)與原廠技術(shù)支持，工業(yè)真空測(cè)量革新之選！
產(chǎn)品介紹
多西托（DosiTorr）高真空傳感
產(chǎn)品概述
多西托（DosiTorr）是一款基于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子規(guī)（SRG）技術(shù)的過程壓力計(jì)，屬于超高潔凈、高耐用性和抗腐蝕性的高真空壓力測(cè)量系統(tǒng)。
核心優(yōu)勢(shì)
• 可可靠地一對(duì)一替代多種電離規(guī)應(yīng)用場(chǎng)景
• 自主運(yùn)行的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子規(guī)（SRG）
• 傳遞標(biāo)準(zhǔn)精度
• 測(cè)量范圍：10 毫巴至 5×10??毫巴，100% 線性
• 無漂移，年漂移率 < 1.5%
• 抗腐蝕且不受沉積影響
• 傳感器可更換
• 超高潔凈 / 無菌
• 真空內(nèi)部無電子元件
• 設(shè)計(jì)壽命與設(shè)備相同
• 24 伏直流電源供電
• 0-10 伏直流輸出（可配置）
應(yīng)用場(chǎng)景
• 替代失效的電離規(guī)
• 離子注入、干法蝕刻
• 在線真空絕緣監(jiān)測(cè)
產(chǎn)品介紹
多西托基于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子規(guī)技術(shù)，采用簡(jiǎn)單的傳感器設(shè)計(jì)，其旋轉(zhuǎn)的不銹鋼球體通過電磁力平穩(wěn)移動(dòng)。與皮拉尼規(guī)（依賴熱量）或電離規(guī)（存在電離、吸氣效應(yīng)）相比，被測(cè)介質(zhì)不受旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子規(guī)的影響，因此非常適合高純度工藝。多西托具有長(zhǎng)期耐用性，能提供高度準(zhǔn)確且穩(wěn)定的壓力讀數(shù)，即使在腐蝕性工藝環(huán)境中也是如此，而其他規(guī)在這種環(huán)境中可能會(huì)因沉積和腐蝕而出現(xiàn)漂移和失效，這得益于其抗沉積和抗腐蝕的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子規(guī)傳感器。
旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子規(guī)技術(shù)在工藝中的優(yōu)勢(shì)
多年來，旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子規(guī)的精度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性已得到充分證明，并被用于高真空壓力計(jì)（如電離規(guī)）的校準(zhǔn)應(yīng)用中。如今，旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子規(guī)技術(shù)的優(yōu)勢(shì)以自主過程傳感器的形式呈現(xiàn)：
• 可實(shí)現(xiàn)高準(zhǔn)確度：在 0.1 至 1×10??毫巴范圍內(nèi)，測(cè)量值的 1%
• 無論氣體類型如何，壓力讀數(shù) 100% 線性
• 長(zhǎng)期穩(wěn)定性：年漂移率 < 1.5%
• 采用抗腐蝕和抗沉積的不銹鋼傳感器
• 安全潔凈的測(cè)量：旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子規(guī)傳感器不會(huì)造成污染、產(chǎn)生熱量或發(fā)生電離
此外，多西托適用于各種工藝環(huán)境：
• 磁屏蔽：防止外部磁場(chǎng)干擾
• 更強(qiáng)的磁懸浮，確保測(cè)量可靠
• 集成溫度傳感器，可自動(dòng)進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)
• 更高的旋轉(zhuǎn)頻率，使懸浮更穩(wěn)定，對(duì)振動(dòng)的敏感性更低
旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子規(guī)技術(shù)
旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子規(guī)基于氣體分子在運(yùn)動(dòng)物體表面吸附和脫附時(shí)會(huì)使物體減速這一效應(yīng)。通過測(cè)量運(yùn)動(dòng)物體的減速速率，可以確定氣體壓力。旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子規(guī)使用三個(gè)組件來測(cè)量真空壓力：
1. 一個(gè)磁性不銹鋼球體，作為傳感器主體，位于連接到真空系統(tǒng)的套管內(nèi)部。
2. 一個(gè)安裝在傳感器套管上的測(cè)量頭，它利用電磁場(chǎng)使傳感器球體懸浮、加速并對(duì)其進(jìn)行測(cè)量。
3. 一個(gè)用于控制傳感器和處理信號(hào)的電子單元。
產(chǎn)品組合
旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子規(guī)傳感器設(shè)計(jì)用于工藝應(yīng)用中的連續(xù)、自動(dòng)測(cè)量，并有多種變體可供選擇，以提供靈活的解決方案：
• 多西托（DosiTorr）：傳感器、測(cè)量頭和電子設(shè)備集成在一個(gè)緊湊的單元中。
• 卡利托（CaliTorr）：電子設(shè)備和測(cè)量頭可與傳感器分離，以便進(jìn)行烘烤。
• 多西托擴(kuò)展型（DosiTorr extend）：測(cè)量頭和電子設(shè)備分離，便于在空間受限的設(shè)備中安裝。
• 多西托配置型（DosiTorr config）：設(shè)計(jì)用于一對(duì)一替代電離規(guī)，具有配置好的電氣接口（“即插即用解決方案”）。
技術(shù)叁數(shù)
關(guān)于我們
ph-instruments 研發(fā)、制造和銷售具有獨(dú)特技術(shù)的真空測(cè)量系統(tǒng)，用于工業(yè)、研究和科學(xué)領(lǐng)域的高要求任務(wù)。我們的宗旨是為客戶提供具有成本效益且與應(yīng)用相關(guān)的解決方案。我們的專家在真空領(lǐng)域的壓力測(cè)量和調(diào)節(jié)方面各有 20 多年的經(jīng)驗(yàn)。產(chǎn)品在德國(guó)和奧地利研發(fā)和生產(chǎn)，符合最高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，在測(cè)量精度、可持續(xù)性和可靠性方面表現(xiàn)。創(chuàng)新技術(shù)有助于提高能源效率，從而保護(hù)環(huán)境，減少不必要的二氧化碳排放。
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