普發(fā)真空（Pfeiffer Vacuum） A100L 多級羅茨真空泵
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摘要
普發(fā)真空 A100L 是緊湊型無油多級羅茨真空泵，抽速達 100m3/h，極限壓力低至 6.6×10?3hPa，杜絕油污染。機身緊湊易集成，58dB (A) 低噪設(shè)計適配潔凈車間。配備 16/19 針 I/O 接口，支持遠程調(diào)控與狀態(tài)監(jiān)控，廣泛用于半導(dǎo)體 Load-lock、光伏等潔凈制程，穩(wěn)定可靠。
產(chǎn)品介紹
普發(fā)真空（Pfeiffer Vacuum） A100L 多級羅茨真空泵。羅茨真空泵是一種無內(nèi)縮的真空泵，通常在中真空范圍工作，常被用于真空冶煉、真空干燥、化工、食品包裝等行業(yè)，能夠快速有效地抽取系統(tǒng)內(nèi)的氣體，達到所需的真空度 。
真空泵的抽速 - 入口壓力特性曲線。
橫坐標 “inlet pressure (hPa)” 表示真空泵的入口壓力（單位：百帕），縱坐標 “Pumping speed (m³/h)” 表示真空泵的抽氣速率（單位：立方米每小時）。該曲線展示了在 50Hz 頻率下，隨著入口壓力的變化，真空泵抽氣速率的變化情況，能幫助用戶了解真空泵在不同入口壓力工況下的抽氣性能表現(xiàn)。
這是真空泵的抽氣時間 - 入口壓力特性曲線。
橫坐標 “Time (sec)” 表示抽氣時間（單位：秒），縱坐標 “Inlet pressure (hPa)” 表示真空泵的入口壓力（單位：百帕）。該曲線展示了在 50Hz 頻率下，對容積為 1000 升的腔室進行抽氣時，隨著抽氣時間的增加，真空泵入口壓力的變化情況，反映了真空泵對該腔室的抽氣效果隨時間的變化規(guī)律。
真空泵的外形尺寸圖紙 。圖中標注了該真空泵進氣口（Inlet DN 50 ）、出氣口（Outlet DN 25 ）的位置及規(guī)格， 還詳細標明了真空泵各個方向的長、寬、高等尺寸數(shù)據(jù)。這些尺寸信息對于真空泵的安裝、空間布局規(guī)劃，以及與其他設(shè)備的對接等工作都具有重要的參考價值。
普發(fā)真空 A100L 多級羅茨真空泵
普發(fā)真空 A100L 是專為潔凈制程打造的多級羅茨真空泵，采用無油干式設(shè)計，通過 5 級羅茨轉(zhuǎn)子非接觸運轉(zhuǎn)，杜絕油污染風(fēng)險，為真空環(huán)境提供干燥潔凈保障。峰值抽速可達 100m³/h，極限壓力低至 6.6×10??mbar，能快速建立穩(wěn)定真空環(huán)境。
設(shè)備機身緊湊，適配機臺內(nèi)直接安裝，搭配水冷回路與低噪設(shè)計，適配無塵車間等精密場景。配備運行時間計與三色狀態(tài)指示燈，16/19 針 I/O 接口支持遠程調(diào)控，可選 RS232/485 串行接口實現(xiàn)智能監(jiān)控。平均故障間隔超 19.5 萬小時，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體 Load-lock、光伏及分析儀器領(lǐng)域，是高效可靠的真空解決方案。
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