COBRA DS 5161/9161 B干式螺桿真空泵

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摘要

德國普旭 COBRA DS 5161/9161 B 干式螺桿真空泵，4300-6160 m3/h 高抽速搭配 0.001 hPa 極限真空。干式無油設(shè)計(jì)污染，專利螺桿抗腐蝕防沉積，水冷控溫穩(wěn)定。集成羅茨泵強(qiáng)化性能，<75dB 低噪運(yùn)行，長保養(yǎng)周期降成本，適配半導(dǎo)體、光伏等嚴(yán)苛工藝。

產(chǎn)品介紹

COBRA DS 5161/9161 B干式螺桿真空泵

干式螺桿真空泵

技術(shù)規(guī)格

ISO 50 HzISO 60 HzUS 60 Hz

干式螺桿真空泵

尺寸圖

COBRA DS 5161/9161 B

干式螺桿真空泵

抽速

空氣溫度為 20°C 時(shí)，公差：± 10%

干式螺桿真空泵

COBRA DS 5161/9161 B 干式螺桿真空泵：制造的真空解決方案

德國普旭 COBRA DS 5161/9161 B 干式螺桿真空泵憑借技術(shù)性能，成為半導(dǎo)體、光伏等制造領(lǐng)域的核心設(shè)備。其 4200-6160 m³/h 的高抽速與 0.001 hPa 的極限真空度，能在 30 分鐘內(nèi)打造超高潔凈真空環(huán)境，滿足嚴(yán)苛工藝需求。

采用創(chuàng)新干式無油設(shè)計(jì)，搭配可鍛鑄鐵基材與特殊鉭涂層螺桿，形成雙重防護(hù)，油污染風(fēng)險(xiǎn)，適配光刻、PECVD 鍍膜等超高潔凈要求的制程。專利螺桿結(jié)構(gòu)具備超強(qiáng)抗腐蝕與防沉積能力，可穩(wěn)定處理含微粒、水汽及腐蝕性氣體的復(fù)雜工況，大幅減少停機(jī)清理時(shí)間。

集成羅茨真空 booster 技術(shù)，在高真空區(qū)仍保持強(qiáng)勁抽速，配合 3600 min?¹ 的高轉(zhuǎn)速電機(jī)，顯著縮短工藝周期。水冷系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)控溫，確保設(shè)備長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行，延長使用壽命。

智能節(jié)能表現(xiàn)突出，通過恒速 / 壓力控制雙模式切換及 ECO 算法，較傳統(tǒng)設(shè)備節(jié)能達(dá) 50%。75dB 低噪運(yùn)行與緊湊設(shè)計(jì)，節(jié)省安裝空間并改善車間環(huán)境。長保養(yǎng)周期與模塊化結(jié)構(gòu)降低維護(hù)成本，加上 ATEX 防爆認(rèn)證，可安全應(yīng)用于化工、醫(yī)藥等危險(xiǎn)工況。

從光伏電池片生產(chǎn)到鋰電池干燥，從半導(dǎo)體蝕刻到醫(yī)藥凍干，這款真空泵以德國制造的精密品質(zhì)與服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，為各行業(yè)提供穩(wěn)定可靠的真空解決方案。

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