COBRA DS 1200/1800 A/A X干式螺桿真空泵
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摘要
COBRA DS 1200/1800 A/A X 干式螺桿真空泵，憑借無油潔凈設計與強勁性能，成為化工、制藥、電子、半導體等行業(yè)的理想之選，輕松應對腐蝕性、含塵、可凝性氣體等復雜工況。
產(chǎn)品介紹
COBRA DS 1200/1800 A/A X干式螺桿真空泵
技術規(guī)格
ISO 50 HzISO 60 Hz
尺寸圖
COBRA DS 1200/1800 A/A X
抽速
空氣溫度為 20°C 時， 公差：± 10%
市場和應用
平板顯示器生產(chǎn)
物相沉積（PVD）
半導體應用
金屬和高 K 蝕刻
LPCVD / 擴散
ALDPECVD
鈷、WCVD、TiN 和 TDMAT
退火
Si Poly etch
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