COBRA BC 0601–1200 A/G干式螺桿真空泵
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摘要
COBRA BC 0601–1200 A/G 干式螺桿真空泵，可靠的真空解決方案！? 601-1200m3/h 高抽速，極限壓力低至 1-2Pa，快速建立穩(wěn)定真空，滿足嚴(yán)苛需求。干式設(shè)計無油污染，保障氣體純凈，適配高潔凈度行業(yè)，還環(huán)保省成本。? 專利自平衡螺桿技術(shù) +“飛行軸承” 設(shè)計，運行穩(wěn)、噪音低，維護(hù)少、壽命長。電機直連結(jié)構(gòu)緊湊，安裝方便省空間。? 廣泛用于半導(dǎo)體、平板顯示、太陽能電池等精密制造，化工、制藥、食品行業(yè)也適用。選它，為生產(chǎn)提效添力！?
產(chǎn)品介紹
COBRA BC 0601–1200 A/G干式螺桿真空泵
技術(shù)規(guī)格
ISO 50 HzISO 60 Hz
尺寸圖
COBRA BC 0601–1200 A/G
抽速
空氣溫度為 20°C 時， 公差：± 10%
市場和應(yīng)用
半導(dǎo)體應(yīng)用
PVD
金屬和高 K 蝕刻
氧化物蝕刻
剝離 / 灰化
鈷、WCVD、TiN 和 TDMAT
退火
Si Poly etch
輕沉積
離子注入
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